خرطوشة فلتر تيتانيوم مسامية 1um للمعالجة الرطبة لأشباه الموصلات
video
خرطوشة فلتر تيتانيوم مسامية 1um للمعالجة الرطبة لأشباه الموصلات

خرطوشة فلتر تيتانيوم مسامية 1um للمعالجة الرطبة لأشباه الموصلات

تصنيف الترشيح الدقيق

مقاومة التآكل في نطاقات الرقم الهيدروجيني القصوى

ثبات حراري عالي لدورات DIW وSIP الساخنة

لا ذرف الجسيمات

قابلية تجديد ممتازة للغسيل العكسي

إرسال التحقيق
مقدمة المنتج

توفر خرطوشة فلتر التيتانيوم المسامية 1um للمعالجة الرطبة لأشباه الموصلات احتفاظًا مطلقًا بالجسيمات المقدرة - في البيئات الكيميائية العدوانية حيث تنتفخ أغشية البوليمر أو تتحلل. تم تصنيعه من مسحوق تيتانيوم عالي النقاء بنسبة 99.4% من أو يساوي 99.4% من خلال الضغط المتوازن البارد والتلبيد بدرجة حرارة عالية- في الفراغ، يحقق هذا المرشح الملبد بالمسحوق المعدني بنية مسامية موحدة مع مسامية تتراوح بين 30-40% وتوزيع ضيق لحجم المسام. في ترشيح إزالة الكربون لإنتاج الأدوية API، يلتقط مرشح قضيب التيتانيوم الملبد 1 ميكرومتر بقايا الكربون المنشط الدقيقة ودقائق المحفز من السوائل الأم عالية اللزوجة، مع إمكانية الغسيل العكسي القابلة لإعادة الاستخدام لإطالة عمر الخدمة عدة مرات بما يتجاوز بدائل الأغشية. تدمج عملية تصنيع أشباه الموصلات الرطبة 1 ميكرون من مسحوق التيتانيوم في خطوط توصيل المواد الكيميائية لتيارات SC-1 وSC-2 و49% HF وHNO₃، حيث تقاوم ركيزة التيتانيوم الحفر من البيئات الغنية بالكلوريد التي تؤدي إلى تآكل درجات الفولاذ المقاوم للصدأ. يعمل تصنيف الدقة 1um على إزالة الجسيمات التي تحتوي على السيليكون دون الميكرون والملوثات المعدنية دون تساقط الجزيئات، مما يحافظ على نقاء الترشيح المطلوب لمعالجة الرقائق على نطاق النانومتر.

1um Porous Titanium Filter Cartridge for Semiconductor Wet Processing 2           1um Porous Titanium Filter Cartridge for Semiconductor Wet Processing 3

تستخدم -تطبيقات حلقات معالجة المياه عالية النقاء خرطوشة فلتر تيتانيوم مسامية بقطر 1 ميكرون للمعالجة الرطبة لأشباه الموصلات كترشيح أمان نهائي قبل أنظمة الترشيح الفائق والتبادل الإلكتروني للبيانات، حيث يتحمل العنصر الملبد بمسحوق التيتانيوم التعقيم الدوري للأوزون ودورات البخار-في-المكان حتى 280 درجة في الظروف الرطبة. على عكس مرشحات العمق من مادة البولي بروبيلين أو خراطيش غشاء PTFE التي تلين أو تتفكك تحت التدوير الحراري، تحتفظ مصفوفة التيتانيوم الملبدة بالفراغ - بسلامة الأبعاد عبر نطاق الرقم الهيدروجيني 1-14 وتتحمل الضغوط التفاضلية حتى 5.0 بار دون انهيار هيكل المسام. تستخدم حلقات تلميع الملاط CMP في المصانع المتقدمة خراطيش فلتر تيتانيوم 1 ميكرومتر بعد - مراحل امتصاص الراتنج لاحتجاز الجزيئات كبيرة الحجم الكاشطة مع الحفاظ على توزيع حجم الجسيمات الهندسي للسيليكا الغروية أو ملاط ​​السيريا. إن خاصية عدم تساقط الجسيمات وقابلية التجدد عبر الإنترنت من خلال التنظيف العكسي أو التنظيف بالموجات فوق الصوتية تتيح إمكانية إعادة الاستخدام المتكرر، مما يقلل من تكرار استبدال الفلتر وتكاليف التشغيل في عمليات المقعد الرطب المستمرة لأشباه الموصلات.

 

مواصفات المنتجات

مادة

مسحوق التيتانيوم GR1

درجة الترشيح/حجم المسام

1um

القطر

80 ملم

طول

500 ملم

اتصال

M30

تقنية

تلبيد

 

 

ميزات المنتجات

 

1um Porous Titanium Filter Cartridge for Semiconductor Wet Processing 6

تصنيف الترشيح الدقيق – توفر خرطوشة فلتر التيتانيوم المسامية 1um احتفاظًا مطلقًا بالجسيمات المقدرة- في خطوط المعالجة الرطبة لأشباه الموصلات، وإزالة بقايا السيليكون دون الميكرون، والملوثات المعدنية، والجزيئات الشبيهة بالهلام -من الكيمياء العدوانية بما في ذلك HF، وHNO₃، وSC-1، وSC-2 دون اختراق الوسائط.

مقاومة التآكل في نطاقات الأس الهيدروجيني القصوى – تم تصنيعها من مسحوق تيتانيوم عالي النقاء بنسبة أكبر من أو تساوي 99.4%-من خلال تلبيد الفراغ، تتحمل خرطوشة فلتر التيتانيوم الملبدة هذه بيئات الأس الهيدروجيني 1–14، ومقاومة التنقر وهجوم الكلوريد الذي يؤدي إلى تحلل الفولاذ المقاوم للصدأ أو مرشحات Hastelloy بسرعة في أنظمة توزيع المواد الكيميائية ذات المقاعد الرطبة.

ثبات حراري عالي لدورات DIW وSIP الساخنة - يتحمل الفلتر الملبد بمسحوق التيتانيوم التشغيل المستمر عند 280 درجة في الظروف الرطبة، ويدعم التعقيم بالبخار -في-المكان (SIP) وشطف الماء الساخن منزوع الأيونات بدون تليين أو تصفيح أو ترشيح المواد القابلة للاستخراج الشائعة في خراطيش غشاء البولي بروبيلين أو PTFE.

 

 

 

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0.5 ميكرومتر يسبب عيوبًا قاتلة في الجهاز.

قابلية تجديد ممتازة للغسيل العكسي – تدعم خرطوشة فلتر التيتانيوم المسامية 1um التنظيف العكسي عبر الإنترنت، والتنظيف بالموجات فوق الصوتية، وتجديد الأحماض، وإزالة المواد الصلبة المحتجزة واستعادة معدلات التدفق الأولية عبر العشرات من دورات إعادة الاستخدام، مما يقلل بشكل كبير من تكرار استبدال الخرطوشة وتكاليف التشغيل في المصانع ذات الحجم الكبير-.

تحمل الضغط التفاضلي العالي - تحافظ مصفوفة التيتانيوم الملبدة بالفراغ- على سلامة بنية المسام تحت ضغوط تفاضلية تصل إلى 5.0 بار، مما يتفوق في الأداء على المرشحات الغشائية التي تنهار أو تتمزق أثناء التدفقات المفاجئة أو أحداث الانسداد في معدات المعالجة الرطبة لأشباه الموصلات.

1um Porous Titanium Filter Cartridge for Semiconductor Wet Processing 4

 

تطبيقات المنتجات

 

خطوط توزيع مواد كيميائية عالية النقاء في مصانع الرقاقات - تم تركيبها في مبيتات مرشح -نقطة الاستخدام (POU) لتيارات 49% HF وHNO₃ وNH₄OH وH₂SO₄ وHCl، حيث تعمل خرطوشة فلتر التيتانيوم الملبدة مقاس 1 ميكرون على إزالة الجسيمات المعدنية دون الميكرون وغبار السيليكون قبل المقاعد الرطبة و معالجات الرقاقة الفردية-.

 

حلقات إعادة تدوير الماء منزوع الأيونات (DIO₃) – يتم تطبيقها كترشيح أمني في أدوات التنظيف بعد -CMP وأدوات التجريد المقاومة للضوء. تقاوم خرطوشة التيتانيوم المسامية 1um تركيزات الأوزون حتى 20 جزء في المليون والتعرض المستمر للأشعة فوق البنفسجية، حيث تصبح مرشحات البولي بروبيلين هشة وتفقد أغشية PTFE سلامتها الميكانيكية.

 

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1um) مع الحفاظ على توزيع حجم الجسيمات الأصلي وإمكانات زيتا، والحفاظ على معدل إزالة ثابت وضمن -توحيد الرقاقة-(WIWNU).

 

ما بعد -تنقية مياه جهاز الغسيل بصندوق فرشاة CMP - يتم تركيبه في خطوط المياه منزوعة الأيونات التي تغذي فرش PVA لاستعادة الجزيئات الكاشطة المتبقية وأيونات النحاس بعد تلميع الرقاقة. يمنع التصنيف المطلق 1um حدوث خدوش دقيقة على النحاس والأسطح العازلة ذات الكثافة المنخفضة - أثناء ملامسة الفرشاة.

 

مرشح الأمان النهائي لحلقة التلميع بالماء فائق النقاء (UPW) – يتم وضعه أمام صمامات -نقطة الاستخدام (POU) في محطات الشطف والحفر الرطب. تعمل خرطوشة فلتر مسحوق التيتانيوم في دورات UPW الساخنة (80 درجة) والتعقيم بالبخار الدوري دون تساقط الجزيئات، مما يحافظ على التحكم البكتيري وعدد الجسيمات أقل من متطلبات الفئة 1.

 

حمامات طلاء بالنيكل والكوبالت غير كهربائيًا لطبقات الحاجز/البذور - مدمجة في ألواح تنقية حمام الطلاء لإزالة التلوث الجسيمي من المثبتات وعوامل التعقيد. تعمل مصفوفة التيتانيوم المقاومة للتآكل- عند درجات حرارة مرتفعة (70-90 درجة) ودرجة حموضة قلوية بدون تقصف الهيدروجين أو تلوث الحمام.

 

اتصل بنا

tel.png

هاتف: 0917-3873009

phone.png

الهاتف: +86 18992731201

envelope.png

بريد إلكتروني:zhangjixia@bjygti.com

fax.png

فاكس: 0917-3873009

address.png

العنوان: رقم. 195، شارع Gaoxin، منطقة تطوير التكنولوجيا العالية-، مدينة باوجي، شنشي، الصين

address.png

واتس اب: +86 18992731201

الوسم : خرطوشة فلتر التيتانيوم المسامية 1um للمعالجة الرطبة لأشباه الموصلات، الصين، الموردين، الشركات المصنعة، تخصيص، الاستخدام، قائمة الأسعار، للبيع، في المخزون، عينة مجانية، مواد مسامية

(0/10)

clearall