شبكة موسعة من التيتانيوم مقاس 2 * 3 مم مع طلاء Ir - Ta لطلاء أشباه الموصلات

يتم تصنيع شبكة موسعة من التيتانيوم بفتحة 2 * 3 مم مع طلاء Ir - Ta لطلاء أشباه الموصلات من صفائح التيتانيوم النقي التجارية ASTM B265 Grade 1. على عكس الشبكة المختومة، ينشئ البناء الموسع فتحة متصلة على شكل ماسة-محددة هنا بـ 2 مم × 3 مم-بدون فقدان المواد أو تقاطعات ملحومة، مما يحافظ على مقاومة التآكل الفطرية لركيزة التيتانيوم والسلامة الهيكلية. تقوم خطوة التوسيع بتوجيه الخيوط بزاوية يمكن التحكم فيها، مما يزيد من مساحة السطح الفعالة مع الحفاظ على توزيع تيار موحد عبر وجه الأنود. بالنسبة لتطبيقات طلاء أشباه الموصلات، تترجم هذه الهندسة مباشرة إلى تدفق إلكتروليت مستقر عبر القطب الكهربي وتقليل انحباس الفقاعات وخطوط المجال الكهربائي المتسقة، وكلها أمور بالغة الأهمية لتحقيق تجانس الطلاء دون-الميكرون على ركائز مستوى الرقاقة-. بعد التوسيع، تخضع الشبكة لعملية إزالة الشحوم القلوية الصارمة والحفر الحمضي لإزالة الأكاسيد الأصلية، مما يضمن التثبيت الميكانيكي لطلاء أكسيد المعدن المختلط التالي-.

يتم تطبيق طلاء أكسيد الإيريديوم-التنتالوم (Ir-Ta) من خلال التحلل الحراري لأملاح السلائف، مما ينتج عنه أنود مستقر الأبعاد (DSA) مصمم خصيصًا لتطور الأكسجين في حمض الكبريتيك-الإلكتروليتات القائمة على الكلوريدات النزرة-وهي الكيمياء الدقيقة التي تمت مواجهتها في حمامات الطلاء النحاسية المتقدمة بأشباه الموصلات. 2*شبكة موسعة بفتحة من التيتانيوم مع يوفر طلاء Ir-Ta لطلاء أشباه الموصلات جهدًا زائدًا لتطور الأكسجين يصل إلى 1.385 فولت مقابل القطب المرجعي لكبريتات الزئبق، مما يقلل بشكل مباشر من جهد الخلية واستهلاك الطاقة في عمليات الطلاء العكسي الدوري (PPR). تُظهر تركيبة Ir-Ta مقاومة فائقة للتحلل الأنودي تحت نبضات كثافة -تيار عالية- شائعة في عمليات النحاس الدمشقي، حيث تعاني الطلاءات القائمة على الروثينيوم - من التدهور المتسارع.

بالإضافة إلى ذلك، يعمل مكون أكسيد التنتالوم على تثبيت هيكل الطلاء، مما يزيد من العمر التشغيلي إلى أكثر من 36 شهرًا في ظل دورات الطلاء النموذجية لأشباه الموصلات -إلى-دورات الطلاء. يتم فحص كل مجموعة شبكية باستخدام أنظمة رؤية آلية أثناء مراحل التسطيح والتشطيب، مما يضمن تحمل السُمك في حدود ±0.05 مم وملامح خالية من نتوءات الحواف - المتوافقة مع التعامل الآلي مع أدوات الطلاء. والنتيجة هي أنود خالي من التلوث- يحافظ على ثبات الأبعاد، ويزيل تساقط الجسيمات، ويتيح أداء الطلاء عالي النقاء القابل للتكرار- المطلوب لعملية تعدين التوصيل البيني المتقدمة.

مقاومة فائقة للتآكل في الكلوريد-الذي يحتوي على حمض الكبريتيك

يعمل مكون أكسيد التنتالوم على تثبيت مصفوفة الطلاء ضد الهجوم الأنودي في الإلكتروليتات التي تحتوي على كلوريدات ضئيلة، وهي مادة مضافة قياسية في كيمياء طلاء النحاس المتقدمة. تظل ركيزة التيتانيوم خاملة بالكامل، مما يزيل خطر تلوث النحاس من المعدن الأساسي المذاب.

تقليل انحباس الفقاعات وتحسين النقل الجماعي

يسمح الهيكل الشبكي المفتوح لفقاعات الأكسجين المتطورة بالانفصال بسرعة عن سطح القطب، مما يقلل من مقاومة الطبقة الحدودية ويحافظ على تدفق ثابت للكهارل. تظهر الشبكات المختومة أو بدائل الألواح الصلبة احتباسًا أعلى للغاز، مما يؤدي إلى تدريع موضعي وطلاء غير -موحد.

عملية خالية من التلوث-

تكون كل من ركيزة التيتانيوم وطلاء Ir-Ta خاملًا في ظروف الطلاء. لا يتم إطلاق أي رصاص أو أنتيمون أو أي أنواع أخرى قابلة للذوبان في المنحل بالكهرباء، مما يلغي الحاجة إلى استبدال كيس الأنود بشكل دوري وتقليل عيوب الجسيمات في ميزات أقل من 10 ميكرومتر.

 

تحمل السُمك والحواف الخالية من الحرق-.

 

يتم التحكم في التسطيح والتشطيب بعد التوسيع باستخدام أنظمة رؤية آلية، مما يحافظ على السماكة الاسمية بمقدار ±0.05 مم ويضمن إزالة حواف جميع الخيوط. وهذا يزيل الضرر الميكانيكي لفواصل الأغشية أو أدوات معالجة الرقاقة.

تمديد خدمة الحياة

يتجاوز اختبار العمر المتسارع (ALT) أقل من 2 أمبير/سم² في 1.5 ميجا هرتز من الماء باستمرار 36 شهرًا من التشغيل المستمر، مع الإشارة إلى تدهور الطلاء من خلال ارتفاع الجهد بدلاً من الفشل الكارثي، مما يتيح جدولة صيانة يمكن التنبؤ بها.

معلمات هندسية قابلة للتخصيص

 

على الرغم من أنها محددة بفتحة 2 مم × 3 مم، فإن عملية الشبكة الموسعة تسمح بالتحكم المستقل في عرض الشريط وزاوية الفتح ونسبة المساحة المفتوحة، مما يتيح تحسين تصميمات أدوات الطلاء المحددة ومتطلبات تدفق السوائل دون تكاليف إعادة الأدوات.

• النحاس الدمشقي للعقد المنطقية – تجميع الأنود في أدوات طلاء 300 مم لملء الفراغات -القاع الحر-الأعلى للخنادق التي يقل سمكها عن 10 نانومتر؛ تضمن الشبكة الموسعة توزيعًا موحدًا للتيار تحت أشكال موجة PPR.

• من خلال -حشوة السيليكون عبر (TSV) - أنود المقطع العرضي - الكامل - في الغرف الرأسية بنسبة عرض إلى ارتفاع تبلغ 10:1–20:1؛ يحافظ على تطور الأكسجين المستقر خلال دورات الكثافة العالية -التيار-الممتدة.

• طبقة إعادة التوزيع (RDL) على مستوى التعبئة والتغليف للوحة- – أنظمة تصفيح المجداف الأفقية؛ تتيح الفتحات مقاس 2 × 3 مم إعادة تدوير الإلكتروليت بشكل مستمر<3% thickness variation across 600mm substrates.

• ضمن -معدنة النتوء (UBM) لرقاقة الوجه- - التحكم الحالي المجزأ في أدوات الطلاء الانتقائية؛ يتحمل الطلاء دورات التنظيف العكسية الدورية دون انحراف الأداء.

• وصلات بينية عالية الكثافة لركيزة التتبع المضمنة (ETS) - لوحات عمودية مستمرة (VCP)؛ تمتد لوحة الأنود إلى عرض الركيزة بالكامل، مما يقلل من السحب-للخارج ويزيل قيود صيانة اللوحة الصلبة.

• نتوء الذهب/النيكل للسيارات وأجهزة الطاقة - تشغيل بكثافة -تيار- عالية (3–8 ASD)؛ تعمل الإمكانات الزائدة المنخفضة على تقليل تسخين الإلكتروليت، مما يحافظ على ثبات الحمام عند حدوث نتوءات تتراوح ما بين 20 إلى 100 ميكرومتر.

• معالجة ما بعد رقائق النحاس كهربائيًا- – خطوط متواصلة لرقائق من 6 إلى 18 ميكرومتر؛ تتيح الشبكة الموسعة تيارًا موحدًا عبر عرض ويب يبلغ 1400 مم في مراحل التخميل المعتمدة على الكروم-.

• التعديلات التحديثية لأدوات الطلاء - الاستبدال المباشر لأبحاث Lam، والمواد التطبيقية، وأنظمة NEXX؛ يوفر طلاء Ir-Ta فترات خدمة ممتدة عبر الأنودات الأصلية القائمة على الروثينيوم-.

هاتف: 0917-3873009

الهاتف: +86 18992731201

بريد إلكتروني:zhangjixia@bjygti.com

فاكس: 0917-3873009

العنوان: رقم. 195، شارع Gaoxin، منطقة تطوير التكنولوجيا العالية-، مدينة باوجي، شنشي، الصين

واتساب: +86 18992731201

الوسم : شبكة موسعة من التيتانيوم بفتحة 2 * 3 مم مع طلاء ir - ta لطلاء أشباه الموصلات، الصين، الموردين، الشركات المصنعة، حسب الطلب، الاستخدام، قائمة الأسعار، للبيع، في المخزون، عينة مجانية، مواد مسامية